Üretim Cihazları P PLAZMA DESTEKLİ KİMYASAL BUHAR BİRİKTİRME / FİZİKSEL BUHAR BİRİKTİRME SİSTEMİ (PECVD/PVD) TERMAL&SAÇTIRMA SİSTEMİ (PVD) k KİMYASAL BUHAR BİRİKTİRME SİSTEMİ (CVD)